מתחילים עם ווייפר סיליקון בקוטר 200 מ"מ ובעובי 0.7 מ"מ. תערובת של סיליקון אוקסיד ואלומיניום מונחת בשכבות על המצע ומכוסה בחומר פוטוסנסיטיבי או פוטורסיסטנטי .

הטקט מודפס על מסיכה שקופה, אשר גדולה פי 4 מגודל ההדפסה הסופית על הצ'יפ.

ההדפסה על המסיכה נחשפת לחומר הפוטורזיסטנטי במהלך הקטנתו לגודלו הסופי.

חורטים את חומר האלומיניום דרך השכבה הפוטורזיסטנטית ומעתיקים את התבנית לשכבת האלומיניום. לאחר מכן, החומר הפוטורזיסטנטי מוסר.

שכבת הגנה עשויה סיליקון אוקסיד מונחת על הווייפר ועוברת תהליך ליטוש מ- 0.7 מ"מ ל- 0.4 מ"מ.

לאחר מכן השבבים נחתכים לגודלם הסופי.